上海微技术工业研究院（SITRI）成立于2013年，由上海市科委、嘉定区和中科院微系统所发起成立，是集研发、工程、产业化于一体的研发与转化功能型平台。SITRI拥有全国首条8寸“超越摩尔”（More than Moore）研发中试线。SITRI参考国际先进工业研究院的创新模式，通过公司制注册、市场化运作、基础研发设施投入、全球一流人才引进和产业广泛对接等措施，不断降低产业研发成本，缩短产品开发周期工研院在MEMS、AlN、硅光、微流控、生物光电子、磁传感和硅基III-Ⅴ族等领域为企业提供长期可靠的研发服务。

SITRI自身的早期基金以及其他开发、投资及产业资源合作，提供关键的早期支持直到创新企业获得机构投资者的关注。